作者:王晓同等 泉源:《ACS纳米》 公布工夫:2018/11/6 17:41:25
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非平整衬底外貌三维微纳米加工技能研讨获希望

 

中国迷信技能什么可以发财致富合肥微标准物质迷信国度研讨中央传授王晓温和罗毅研讨团队生长了光刻胶软掩膜蜡纸印刷技能,乐成完成了多种形貌三维超布局的可控制备,同时完成了非平整和曲面衬底上微纳米布局的自在构建。相干研讨结果克日以Utilization of Resist Stencil Lithography for Multidimensional Fabrication on a Curved Surface 为题,颁发在学术期刊ACS Nano上。
 
传统的自上而下微纳加工本领(包罗深紫外曝光、电子束曝光以及X射线曝光等技能)在当代微电子财产和光学器件的生长中发扬了紧张作用,但受限于这些技能本征的工艺特性,无法到达日益急迫的非立体加工要求。团队使用水解转移的方法将带有纳米图案的光刻胶薄膜作为蜡纸印刷术掩膜,使用薄膜的柔性保形特性包裹在曲面和非平整衬底之上,辅以图形转移本领,乐成完成了具有多维度的微纳米布局,特殊是三维海浪形超布局的可控制备。这种新要领承继了传统微纳米曝光技能在大通量、高辨别率等方面的上风,极大拓展了这些传统技能的功效,在超质料、曲面光栅、局域场器件以及柔性器件等方面展现出紧张使用远景。
 
该研讨团队在生长非传统微纳米加工技能等方面积聚了精良的事情底子和技能储藏。在后期的事情中,使用水解转移技能乐成制备了外貌超平整的金属微纳腔[Opt. Express 21, 32417 (2013)];使用可剪裁负胶掩膜技能乐成完成了小于20纳米尺寸的金属布局的可控加工
 
论文的配合第一作者为合肥微标准物质迷信国度实行中央特任副研讨员蔡洪冰和博士后孟秋实,通讯作者为王晓温和罗毅。该事情失掉科技部、国度天然迷信基金委、中科院和教诲部等要害项目标赞助。(泉源:中国迷信技能什么可以发财致富)
 
 
 
中国科大在非平整衬底外貌三维微纳米加工技能研讨中获希望
 

 

 
 
 
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